ISO 11670:2003標(biāo)準(zhǔn)全稱(chēng)為《激光和激光相關(guān)設(shè)備 - 激光束參數(shù)測(cè)試方法 - 光束位置穩(wěn)定性》（Lasers and laser-related equipment — Test methods for laser beam parameters — Beam positional stability）。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了確定激光束位置和角度穩(wěn)定性的方法，旨在用于激光器的測(cè)試和表征。

主要測(cè)試項(xiàng)目

1、光束位置穩(wěn)定性（Beam positional stability）：

測(cè)試激光束在空間中的位置是否穩(wěn)定不變，這對(duì)于激光加工、激光切割、激光打標(biāo)等應(yīng)用非常重要。

通過(guò)位置敏感探測(cè)器測(cè)量激光束質(zhì)心的位置變化，并計(jì)算其標(biāo)準(zhǔn)偏差。

2、光束指向穩(wěn)定性（Beam pointing stability）：

評(píng)估激光束的方向是否保持穩(wěn)定，這對(duì)于確保加工效果和質(zhì)量至關(guān)重要。

在聚焦元件的焦平面上測(cè)量激光束質(zhì)心的位置變化，并計(jì)算其標(biāo)準(zhǔn)偏差。

3、測(cè)試方法：

測(cè)量布置：確保激光束和測(cè)量系統(tǒng)的光軸同軸，光學(xué)系統(tǒng)的孔徑應(yīng)能夠容納整個(gè)激光束截面。

環(huán)境控制：測(cè)試平臺(tái)或支撐系統(tǒng)應(yīng)具有比被測(cè)激光更高的光機(jī)械穩(wěn)定性，避免外部或系統(tǒng)誤差。

探測(cè)系統(tǒng)：使用位置敏感探測(cè)器來(lái)確定激光束質(zhì)心的位置。

4、數(shù)據(jù)處理與評(píng)估：

從測(cè)量數(shù)據(jù)中計(jì)算光束位置穩(wěn)定性和光束指向穩(wěn)定性，通常使用均方根誤差（RMS）來(lái)表示。

適用范圍

該標(biāo)準(zhǔn)適用于需要評(píng)估激光束位置和角度穩(wěn)定性的各種激光器。